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1700℃真空高溫管式爐技術(shù)特征

更新時(shí)間:2025-11-25      瀏覽次數(shù):146

1700℃真空高溫管式爐作為更高溫級(jí)別的精密熱加工設(shè)備,多以硅鉬棒為加熱元件、高純剛玉管為爐管,且強(qiáng)化了溫控與真空密封系統(tǒng),僅能短時(shí)(通?!?.5h)維持 1700℃高溫,長(zhǎng)期常用溫度多在 1600 - 1650℃,適配難熔材料、功能材料的精密加工與前沿科研,以下是其核心信息詳解:

核心結(jié)構(gòu)與關(guān)鍵參數(shù)

核心部件配置及參數(shù)詳情

加熱與測(cè)溫加熱元件以 1800 級(jí)硅鉬棒為主,適配超高溫工作需求;搭配 B 型雙鉑銠熱電偶測(cè)溫,搭配 PID 智能溫控儀,控溫精度達(dá) ±1℃,支持 30 - 50 段可編程控溫,還具備超溫、斷偶報(bào)警功能。

爐體與爐膛多為雙層殼體搭配風(fēng)冷循環(huán)系統(tǒng),爐體表面溫度可控制在 60℃以下;爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維,部分表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層,既提升熱效率又延長(zhǎng)壽命,常見(jiàn)加熱區(qū)長(zhǎng)度 290 - 300mm。

爐管與真空標(biāo)配 99.8% 高純剛玉管,常規(guī)尺寸為 Φ60×1000mm,也可定制更大管徑;搭配機(jī)械泵時(shí)真空度可達(dá) 5×10?3Pa,選配羅茨泵或分子泵后可提升至 1×10?? - 10??Pa,爐管兩端配不銹鋼真空法蘭保障密封性。

升溫規(guī)范不同溫度區(qū)間有嚴(yán)格限制,如 1400℃以下≤10℃/min,1400 - 1600℃≤5℃/min,1600℃以上≤2℃/min,避免升溫過(guò)快損壞元件與爐管。

核心應(yīng)用領(lǐng)域

難熔金屬與陶瓷加工:適配鎢、鉬、鉭等難熔金屬的熱加工,通過(guò)高溫真空環(huán)境改善其組織結(jié)構(gòu),提升力學(xué)性能;也可用于碳化硅纖維增強(qiáng)陶瓷基復(fù)合材料的燒結(jié),以及高性能陶瓷電容、傳感器的致密化處理,避免加工過(guò)程中材料氧化或污染。

半導(dǎo)體與電子功能材料:可用于單晶硅、砷化鎵等單晶半導(dǎo)體材料的生長(zhǎng),還能對(duì)碳化硅晶圓做高溫退火,消除晶格缺陷;同時(shí)適配釔鋁石榴石基熒光粉合成、陶瓷基電子元件燒結(jié)等工藝,保障電子材料的電學(xué)性能與穩(wěn)定性。

新能源與超導(dǎo)材料研發(fā):用于鋰電池正極材料的深度提純,去除殘留有機(jī)物與水分,優(yōu)化晶體結(jié)構(gòu);也可在特殊氣氛下制備氫燃料電池極板,還能完成釔鋇銅氧等超導(dǎo)材料的高溫固相反應(yīng)合成,助力提升材料核心性能。

前沿科研與特種加工:是高校和科研院所研究材料高溫相變的核心設(shè)備,比如觀察二氧化硅晶型轉(zhuǎn)變、測(cè)試高溫合金蠕變性能等;還可搭建 CVD 系統(tǒng)制備碳納米材料、石墨烯等;部分淬火機(jī)型可實(shí)現(xiàn)樣品高溫下快速淬火,用于研究材料相變與微結(jié)構(gòu)性能。

使用與維護(hù)要點(diǎn)

使用壽命:整機(jī)常規(guī)壽命 3 - 6 年,比 1600℃機(jī)型更短。硅鉬棒在 1650℃長(zhǎng)期工作下壽命約 600 - 1000 小時(shí);剛玉爐管正常使用約 1.5 - 2 年,若頻繁熱震或接觸腐蝕性氣體,壽命可能縮短至 1 年以?xún)?nèi);密封圈等耗材壽命約 0.8 - 1.2 年。

維護(hù)重點(diǎn):避免長(zhǎng)時(shí)間在 1700℃極限溫度運(yùn)行,單次極限溫度工作不超 30 分鐘;每次高溫使用后需程序降溫,嚴(yán)禁直接停機(jī);每 50 次高溫循環(huán)后檢測(cè)剛玉管狀態(tài),定期清理爐管內(nèi)雜質(zhì),通入反應(yīng)氣體后需用惰性氣體吹掃爐膛;每 3 - 6 個(gè)月檢查硅鉬棒氧化情況與法蘭密封性。


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